硅片厚度传感器(SIT-200)
简要描述:硅片厚度传感器(SIT-200)中与宽带光源不同,SIT-200使用高速扫描可调谐激光器探测被测晶圆。这使得每波长的功率测量更高,从而产生更高的动态范围。
产品型号:
所属分类:光电常用设备
更新时间:2024-12-16
详细说明:
硅片厚度传感器(SIT-200)中与宽带光源不同,SIT-200使用高速扫描可调谐激光器探测被测晶圆。这使得每波长的功率测量更高,从而产生更高的动态范围。结果,例如在湿蚀刻期间/之后,甚至可以在未抛光的晶圆上执行厚度测量。
硅片厚度传感器(SIT-200)的主要特点有:
一、硅片用全光非接触式厚度传感器
二、能够测量无序表面的高动态范围
三、能够在湿法腐蚀过程中进行原位测量
在生活中其常常应用于硅片厚度测量
硅片厚度传感器(SIT-200)的主要特点有:
一、硅片用全光非接触式厚度传感器
二、能够测量无序表面的高动态范围
三、能够在湿法腐蚀过程中进行原位测量